四探針電阻測試儀是一種用于測量物質(zhì)電阻率、電阻及方塊電阻的專業(yè)設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、薄層材料檢測以及化工、建材等行業(yè)。它基于四探針接觸法設(shè)計，通過外側(cè)兩探針施加穩(wěn)定電流，內(nèi)側(cè)兩探針測量電勢差，實現(xiàn)電流-電壓分離測量，有效消除接觸電阻和引線電阻的干擾，確保測量結(jié)果的高精度。

　　該儀器適配多種樣品形態(tài)，包括塊狀、棒狀及薄膜材料，測量范圍覆蓋電阻率10??～10?Ω·cm，標準不確定度≤2%。其硬件配置先進，采用液晶顯示屏與自動溫度補償系統(tǒng)，二代機型配備自動傳感測試架，減少探針與樣品接觸損傷。內(nèi)置計算機可自動調(diào)整系數(shù)，通過接口實現(xiàn)數(shù)據(jù)存儲與導(dǎo)出，提升操作便捷性。

　　四探針電阻測試儀的主要結(jié)構(gòu)：

　　1、四探針測試頭(Four-Point Probe Head)

　　這是儀器最核心的傳感部件，直接與樣品接觸。

　　四個探針(Probes)：

　　通常為等間距、直線排列的金屬針（常用鎢鋼、銥或鉑合金制成，硬度高、耐磨損）。

　　探針尖d非常尖銳（微米級），以減小接觸面積，但需避免劃傷樣品。

　　外側(cè)兩根探針：用于通入測量電流（I）。

　　內(nèi)側(cè)兩根探針：用于測量電壓降（V）。

　　探針支架/探頭座：

　　精密固定四個探針，確保其間距（s）恒定且精確（常見間距為1mm）。

　　通常采用絕緣材料（如陶瓷、特種塑料）制造，防止漏電。

　　探針驅(qū)動/加載機構(gòu)：

　　可通過手動旋鈕、杠桿或電動馬達控制探針的垂直升降。

　　配備恒力彈簧或壓力傳感器，確保探針以恒定、可控的壓力接觸樣品表面，避免壓力過大損傷樣品或過小導(dǎo)致接觸不良。

　　2、樣品臺(Sample Stage)

　　平臺：平坦、堅固的基座，用于放置待測樣品。材質(zhì)通常為絕緣或?qū)щ娦钥煽氐牟牧稀?/div>