導(dǎo)電四探針方阻電阻測試儀根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。配專用探頭，也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。

導(dǎo)電四探針方阻電阻測試儀運(yùn)用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測試

硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻  半導(dǎo)體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件，導(dǎo)電薄膜（ITO導(dǎo)電膜玻璃等），金屬膜，導(dǎo)電漆膜，蒸發(fā)鋁膜，PCB銅箔膜，EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率  導(dǎo)電性油漆，導(dǎo)電性糊狀物，導(dǎo)電性塑料，導(dǎo)電性橡膠，導(dǎo)電性薄膜，金屬薄膜， EMI 防護(hù)材料，導(dǎo)電性纖維，導(dǎo)電性陶瓷等，提供中文或英文兩種語言操作界面選擇

注意事項(xiàng)：

　　1、儀器操作前請您仔細(xì)閱讀使用說明書，規(guī)范操作

　　2、輕拿輕放，避免儀器震動(dòng)，水平放置，垂直測量

　　3、儀器不使用時(shí)請切斷電源，連接線無需經(jīng)常拔下，避免灰塵進(jìn)入航空插引起短接等現(xiàn)象

　　4、探針筆測試結(jié)束，套好護(hù)套，避免人為斷針

　　本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。

1. 便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；

2. 基本設(shè)置操作簡單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時(shí)顯示。

3. 精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.05％；方阻基本準(zhǔn)確度：3%；電阻率基本準(zhǔn)確度：3%

4. 整機(jī)測量最大相對誤差：≤±3%；整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±3%

5. 四位半顯示讀數(shù)；八量程自動(dòng)或手動(dòng)測試；

6. 測量范圍寬： 電阻：10-4Ω～105Ω ；方阻：10-4Ω/□～105Ω/□；

7. 正反向電流源修正測量電阻誤差

8. 恒流源：電流量程分為： 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔；儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護(hù)被測件，即先讓探針頭壓觸在被測材料上，后開恒流源開關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對材料及測量并無影響時(shí)，恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。

9. 可配合多種探頭進(jìn)行測試；也可配合多種測試臺進(jìn)行測試。

10. 校正功能：可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測試量程 全量程自動(dòng)清零。

11. 厚度可預(yù)設(shè)，自動(dòng)修正樣品的電阻率,無需查表即可計(jì)算出電阻率。

12. 自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示平均值.測薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。

13. 雙電測測試模式，測量精度高、穩(wěn)定性好.

14. 具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測材料溫漂帶來的測試結(jié)果偏差。

15. 比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。

3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對被測件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。

16. 測試模式：可連接電腦測試、也可不連接電腦單機(jī)測試。

17. 豐富的接口，Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。U盤可記錄測試數(shù)據(jù)

18. 軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測試數(shù)據(jù)；可供用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分

析。

標(biāo)配：測試平臺一套、主機(jī)一套、電源線數(shù)據(jù)線一套。